Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實(shí)驗室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗，也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

便捷的樣品測量（包含多樣品掃描）

 一次可對多個(gè)樣品自動(dòng)成像

 設計的多樣本卡盤(pán)，一次至多可裝載9個(gè)單獨樣品（可選）

 全電動(dòng)XY樣品臺行程可達 150 mm x 150 mm

通過(guò)消除掃描器串擾進(jìn)行精準的XY掃描

 獨立閉環(huán)XY和Z柔性?huà)呙杵?/span>

 正交XY掃描

 無(wú)需軟件處理即可保留真實(shí)可信的樣品表面形貌信息

真正非接觸模式實(shí)現探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護

 快速的Z伺服速度，實(shí)現真正的非接觸模式

 針尖磨損微小化，可實(shí)現長(cháng)時(shí)間的高質(zhì)量和高分辨率成像

多種模式和選項

 全面性的測量模式和表征方法

 可實(shí)現可選配件和升級擴展功能

 用于故障分析(FA)的精密電學(xué)測量

Park NX15原子力顯微鏡 參數

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動(dòng)力掃描器

Z掃描范圍：15μm(30 μm可選)

XY掃描器

閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍：100μmx 100μm

光學(xué)

帶視覺(jué)相機的同軸光學(xué)系統

物鏡：10x放大

視場(chǎng)：

480 μm X 360 μm(默認 120 萬(wàn)像素視覺(jué)相機)

840 μm X 630 μm( 默認 500 萬(wàn)像素視覺(jué)相機)

電路系統

信號處理

ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC

樣品臺

Z位移臺行程范圍：25.5 mm

XY位移臺行程范圍：150 mm X 150mm

樣品大?。?/span>可滿(mǎn)足150 mm wafer 樣品