Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng )新型大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動(dòng)化。新升級的Park NX20系統專(zhuān)為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗室設計，可有效地檢測整個(gè)300mm晶圓，且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動(dòng)X(jué)Y工作臺，但Park的創(chuàng )新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。

可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動(dòng)化納米測量工具

·支持200mmx200mm或300mmx300mm的全自動(dòng)原子力顯微鏡

·無(wú)需手動(dòng)移動(dòng)樣品即可實(shí)現樣品上每個(gè)點(diǎn)的精密測量

·Park NX20300 mm是專(zhuān)為失效分析和質(zhì)量品控設計

·工業(yè)測試軟件可以實(shí)現樣品的全自動(dòng)化批量測量，使得NX20檢測過(guò)程變得高效易用

專(zhuān)為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300 mm進(jìn)行了全新設計，可達到大樣品的高精度測量。整個(gè)300mm晶圓區域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開(kāi)啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡(jiǎn)便、更精準地開(kāi)展工作。

靈活的300mm樣品吸盤(pán)

Park NX20 300mm真空吸盤(pán)支持各種尺寸、形狀和類(lèi)型的晶圓，讓用戶(hù)幾乎可準確掃描任何樣品。

300mm XY軸工作臺

機動(dòng)化的300mm XY軸工作臺允許用戶(hù)在300mm的全部區域內移動(dòng)原子力顯微鏡的測量位置。

針對廣泛應用性進(jìn)行優(yōu)化

Park NX20 300mm原子力顯微鏡為眾多應用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測量，為納米級的樣品提供精準測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執行各種任務(wù)的理想選擇。