作為一款缺陷形貌分析的精密測量?jì)x器，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許有錯誤的存在。Park NX20原子力顯微鏡，這款高精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著(zhù)數據的準確性，在半導體和硬盤(pán)行業(yè)中大受贊揚。

全面多樣的分析功能

Park NX20原子力顯微鏡可快速幫助客戶(hù)找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶(hù)制定出更多具有創(chuàng )意的解決方案。高精密度可為用戶(hù)帶來(lái)高分辨率數據，讓用戶(hù)能夠更加專(zhuān)注于工作。與此同時(shí)，非接觸掃描模式讓探針針尖更鋒利、更耐用，無(wú)需為頻繁更換探針而耗費大量的時(shí)間和金錢(qián)。

為FA和研究實(shí)驗室提供精確的形貌測量解決方案

· 對樣品和基片進(jìn)行表面粗糙度測量

· 缺陷檢查成像與分析

· 高分辨率電子掃描模式

· 三維結構測量的解耦XY掃描系統

· 低噪聲Z探測器可精確測量原子力顯微鏡表面形貌

Park NX20特點(diǎn)

 低噪聲XYZ位置傳感器

 自動(dòng)多點(diǎn)樣品掃描

 掃描頭滑動(dòng)嵌入式設計

 用于高級掃描模式易插拔擴展槽

 高速24位數字電子控制器

 高速Z軸掃描器，掃描范圍達15 µm

 集成編碼器的XY自動(dòng)樣品載臺

 操作方便的樣品臺

 同軸高功率光學(xué)集成LED照明和CCD系統。

 自動(dòng)Z軸移動(dòng)和聚焦系統

Park NX20技術(shù)參數

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動(dòng)力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz帶寬)

XY掃描器

閉環(huán)控制的柔性引導XY掃描器

掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選 50 µm × 50 µm)

驅動(dòng)臺

Z位移臺行程范圍 : 25 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 15 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 200 mm x 200 mm

樣品架

樣品尺寸 : 基本配置開(kāi)放空間 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學(xué)

10倍 (0.23 N.A.)超長(cháng)工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
樣品表面和懸臂的直觀(guān)同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 100萬(wàn)像素, 500萬(wàn)像素 (可選)

軟件

SmartScan™

AFM系統控制和數據采集的專(zhuān)用軟件
智能模式的快速設置和簡(jiǎn)易成像
手動(dòng)模式的高級使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數據分析軟件

電子

集成功能
4通道數字鎖相放大器
數據Q控制

信號處理

ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

連接外部信號
20個(gè)嵌入式輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出 : EOF, EOL, EOP, 調制和交流偏壓