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Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡通過(guò)為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來(lái)提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶(hù)可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX20原子力顯微鏡作為缺陷形貌分析的精密測量?jì)x器，可進(jìn)行大型樣品精密測量并憑借著(zhù)高精準的數據準確性，在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。

Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業(yè)界創(chuàng )新型大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動(dòng)化。新升級的Park NX20系統專(zhuān)為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗室設計，可有效地檢測整個(gè)300mm晶圓，且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動(dòng)X(jué)Y工作臺，但Park的創(chuàng )新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實(shí)驗室里的研究人員處理各種樣品、進(jìn)行多變量實(shí)驗，也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

Park NX12原子力顯微鏡力求重新構建，以適應許多用戶(hù)設備需求。其他原子力顯微鏡解決方案缺乏必要的多功能性，難以滿(mǎn)足該設備中用戶(hù)的多重需求，很難合理控制設備成本。然而，Park NX12旨在能夠容納標準環(huán)境原子力顯微鏡成像，液體掃描探針顯微鏡，光學(xué)和納米光學(xué)成像，使其成為靈活的原子力顯微鏡之一。

Park NX7原子力顯微鏡 配有Park原子力顯微鏡前沿技術(shù)，其設計與新型顯微鏡一樣彰顯細節品質(zhì)，可以有效助您取得精準的研究成果。